Park原子力顯微鏡產(chǎn)品特性
Park
XE15具備多個(gè)特殊功能，是共享實(shí)驗(yàn)室處理各類(lèi)樣品、研究員進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)、失效分析師研究晶片等的好選擇。
MultiSample?（多重采樣TM）掃描器帶來(lái)便捷樣品測(cè)量
多樣品一次性自動(dòng)成像
特殊設(shè)計(jì)的多樣品夾頭，*多可承載16個(gè)獨(dú)立樣品
全自動(dòng)XY樣品載臺(tái)，行程范圍達(dá)200 mm x 200 mm。
無(wú)軸間耦合提高掃描精度
兩種獨(dú)立閉環(huán)XY和Z平板式掃描
平板式和線性XY掃描可達(dá)100μm x 100μm，且殘余壓彎小
整個(gè)掃描范圍內(nèi)的異面移動(dòng)小于2nm
強(qiáng)力掃描器達(dá)25μm Z掃描范圍
精準(zhǔn)的高度測(cè)量
Non-Contact?（真正非接觸TM）模式延長(zhǎng)針尖使用壽命、改善樣品保存及精度
其Z掃描頻寬是壓電管基礎(chǔ)系統(tǒng)的10倍
非接觸式可降低針尖磨損、延長(zhǎng)使用壽命
成像分辨率高于同類(lèi)原子力顯微鏡
降低樣品干擾，提高掃描精度
提供較佳用戶體驗(yàn)
開(kāi)放式側(cè)面接入，提高樣品及針尖更換效率
預(yù)對(duì)準(zhǔn)的針尖安裝和軸上俯視法可簡(jiǎn)單直觀地實(shí)現(xiàn)激光對(duì)準(zhǔn)
燕尾鎖封片方便鏡頭拆卸
界面帶自動(dòng)設(shè)置功能，方便用戶使用
多種模式與選項(xiàng)
綜合性測(cè)量模式及特性設(shè)置
多種可選配件及更新，擴(kuò)展性能優(yōu)越
為缺陷分析提供先進(jìn)電氣測(cè)量
產(chǎn)品特點(diǎn)
100um x 100 um掃描范圍的XY柔‘性導(dǎo)向掃描器
XY掃描器含系統(tǒng)二維彎曲及強(qiáng)力壓電堆疊，可使極小平面外移動(dòng)形成較大的正交運(yùn)動(dòng)，并能快速響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的樣品納米級(jí)掃描。
柔性導(dǎo)向強(qiáng)力Z掃描器
在強(qiáng)力壓電堆疊的驅(qū)動(dòng)及彎曲結(jié)構(gòu)的引導(dǎo)下，其硬度允許掃描器高速豎直運(yùn)動(dòng)，較傳統(tǒng)原子力顯微鏡掃描器更加高速。*大Z型掃描范圍搭配遠(yuǎn)程Z掃描器（選配）可延長(zhǎng)12μm至25μm。
滑動(dòng)連接的超亮二極管頭
通過(guò)將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動(dòng)，可輕松將其插入或取出。低相干的超發(fā)光二極管頭可實(shí)現(xiàn)高反射表面的精準(zhǔn)成像和力-矩光譜的精準(zhǔn)測(cè)量。超亮二極管頭的波長(zhǎng)幫助減輕干擾問(wèn)題，因此用戶在可見(jiàn)光譜實(shí)驗(yàn)中也可使用本產(chǎn)品。
多樣品夾頭
特殊設(shè)計(jì)的多樣品夾頭，*多可承載16個(gè)獨(dú)立樣品，由多重采樣掃描器自動(dòng)按順序掃描。特殊的夾頭設(shè)計(jì)為接觸樣品針尖預(yù)留了邊通道。
選配編碼器的XY自動(dòng)樣品載臺(tái)
自動(dòng)集成XY載臺(tái)可輕松并精準(zhǔn)控制樣品的測(cè)量位置。XY樣品載臺(tái)的行程范圍可配置為150
mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自動(dòng)載臺(tái)使用編碼器，可提高樣品定位的精度和重復(fù)性。編碼XY載臺(tái)工作時(shí)分辨率為1 μm，重復(fù)率為2 μm。編碼Z載臺(tái)的分辨率為0.1
μm，重復(fù)率為1 μm。
高分辨率數(shù)碼變焦感光元件攝像頭
高分辨率數(shù)碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學(xué)，具備變焦功能，無(wú)論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。
垂直對(duì)齊的自動(dòng)Z載臺(tái)及聚焦載臺(tái)
Z載臺(tái)和聚焦載臺(tái)可將懸臂嚙合到樣品表面上，同時(shí)確保用戶視野清晰穩(wěn)定。聚焦載臺(tái)是由軟件控制自動(dòng)運(yùn)行的，因此滿足透明樣品及液態(tài)元件應(yīng)用所需精度。
彎曲基底解耦XY和Z掃描器
Z掃描器與XY掃描器完全解耦。XY掃描器在水平面上移動(dòng)樣品，同時(shí)Z掃描器豎直移動(dòng)探針。
此配置以極小異面移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了平板式XY掃描。此XY掃描同時(shí)還具有高正交性與線性。
底噪聲
為探測(cè)*小樣品的特性，幫助快速運(yùn)動(dòng)平面成像，Park
Systems設(shè)計(jì)了業(yè)內(nèi)0.5A以下的*低本底噪聲標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。使用“零掃描”探測(cè)本地噪聲數(shù)據(jù)。
真正非接觸模式延長(zhǎng)針尖使用壽命
XE系列原子力顯微鏡已成功搭配強(qiáng)力Z掃描系統(tǒng)獨(dú)有的真正非接觸模式。真正非接觸模式下，使用的是相吸而非相排斥的內(nèi)部原子力。
真正非接觸模式因此成功地保持了針尖樣品納米級(jí)間距，改善了原子力顯微鏡圖像，保持針尖的銳利，因此有效延長(zhǎng)了針尖使用壽命。
預(yù)對(duì)準(zhǔn)懸臂支撐
預(yù)先安裝在探針支撐上，因此不需要嚴(yán)格對(duì)齊激光束。
高分辨率的直接同軸光學(xué)元件
用戶可直接俯視觀看樣品，操控樣品表面，從而很容易就能找到目標(biāo)區(qū)域。高分辨率數(shù)碼攝像頭具備變焦功能，無(wú)論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。
帶DSP控制芯片的XE控制電子元件
原子力顯微鏡發(fā)出的納米級(jí)信號(hào)將由高性能Park
XE電子元件控制并處理。Park
XE電子元件為低噪聲設(shè)計(jì)，配備高速處理單元，可成功實(shí)現(xiàn)真正非接觸?模式，是納米級(jí)成像及電壓電流精準(zhǔn)測(cè)量的理想選擇。
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600 MHz、4800 MIPS速度的高性能處理單元
- 低噪聲設(shè)計(jì)，適合電壓電流精準(zhǔn)測(cè)量
-通用系統(tǒng)，各SPM技術(shù)均可得到應(yīng)用
- 外部信號(hào)接入模塊，存取原子力顯微鏡輸入/輸出信號(hào)
- *多16個(gè)數(shù)據(jù)成像
- *大數(shù)據(jù)尺寸：4096
x 4096像素
- 16位ADC/DAC，速度達(dá)500 kHz
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TCP/IP連接，隔離計(jì)算機(jī)接出電噪
